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申请/专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆镀液的快速降温设备，涉及晶圆镀液降温技术领域，包括固定槽，所述固定槽的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管和从动管。本发明通过循环冷却单元的设置，水泵将水箱中的水抽出并通过固定管导入冷却箱内，冷却箱将水冷却后通过出水管和从动管导入连接管内，然后通过转动管和进水管流回水箱内，进而能够对晶圆镀液进行循环水冷，通过风冷单元的设置，旋叶转动能够将晶圆镀液推送固定筒的顶部，然后晶圆镀液从固定筒的出料口排出进入出料通道上，实现了对晶圆镀液进行翻料，使得晶圆镀液的出料过程能够充分与空气接触，配合转动扇叶104对晶圆镀液的吹风散热，从而提高了对晶圆镀液进行冷却效果。
主权项：1.一种晶圆镀液的快速降温设备，包括固定槽1，其特征在于：所述固定槽1的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管2和从动管201，还包括；连接管202，所述连接管202位于所述固定槽1内，所述连接管202的两端分别与所述转动管2和所述从动管201相互靠近的一端固定连接；快速冷却机构，所述快速冷却机构位于所述固定槽1上，所述快速冷却机构用于对晶圆镀液进行冷却；所述快速冷却机构包括风冷单元、驱动单元和循环冷却单元，所述风冷单元固定连接于所述固定槽1一侧内壁的固定筒101，所述固定筒101的顶部开设有活动孔，所述活动孔内转动连接有转动杆102，所述转动杆102上固定套接有螺旋叶103，所述螺旋叶103位于所述固定筒101内，所述转动杆102的顶部固定连接有转动扇叶104，所述固定筒101的圆柱外侧壁固定连接有出料通道106，所述固定筒101的内壁开设有出料口105，所述出料口105位于所述出料通道106的顶端位置，所述固定筒101的圆柱外侧壁固定连接有导料板107，所述导料板107位于所述出料通道106的出料端，所述转动杆102的底端与所述从动管201上均键连接有锥齿轮109，两个所述锥齿轮109相啮合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州尊恒半导体科技有限公司 一种晶圆镀液的快速降温设备
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