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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明涉及真空设备技术领域，其目的是提供一种分子泵。这种分子泵可对气体进行选择性压缩，能筛选出所需特定气体。上述分子泵包括：分子泵泵体和渗透膜，且分子泵泵体具有进气口和排气口；分子泵泵体内部设置有叶片级，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有拖动级，渗透膜设置于拖动级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有叶片级和拖动级，叶片级靠近进气口一侧，拖动级靠近排气口一侧，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁以及拖动级与分子泵泵体内壁之间。本发明解决了现有技术中的分子泵无法对气体进行选择性压缩，不能筛选出所需的特定气体的问题。
主权项：1.一种分子泵，其特征在于，包括：分子泵泵体（1）和渗透膜（4），且所述分子泵泵体（1）具有进气口（101）和排气口（102）；所述分子泵泵体（1）内部设置有叶片级（2），所述渗透膜（4）设置于所述叶片级（2）与所述分子泵泵体（1）内壁之间；或所述分子泵泵体（1）内部设置有拖动级（3），所述渗透膜（4）设置于所述拖动级（3）与所述分子泵泵体（1）内壁之间；或所述分子泵泵体（1）内部设置有所述叶片级（2）和所述拖动级（3），所述叶片级（2）靠近所述进气口（101）一侧，所述拖动级（3）靠近所述排气口（102）一侧，所述渗透膜（4）设置于所述叶片级（2）与所述分子泵泵体（1）内壁以及所述拖动级（3）与所述分子泵泵体（1）内壁之间；无渗透特性的气体分子从排气口（102）排出，而具有渗透特性的气体分子会大量返回至分子泵进气口（101）一侧，实现分子泵对气体进行选择性压缩，筛选出所需特定气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵
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