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申请/专利权人：镇江市德利克真空设备科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种旋转阴极靶筒靶头的连接结构，包括靶筒，靶筒上方设置有靶筒法兰，靶筒法兰外侧设置有密封圈挤压槽，密封圈挤压槽内设置有部分突出于密封圈挤压槽外的第一密封圈，靶筒法兰外侧套接有靶头，靶筒法兰与靶头外侧设置有卡箍。本实用新型提供的通过卡箍连接的靶筒和靶头，通过拧紧或松开卡箍的方式对靶筒和靶头进行连接或拆卸，操作十分简单方便；通过在靶筒法兰和靶头之间设置第一密封圈，并使用卡箍挤压第一密封圈，使靶筒和靶头紧密连接，有效地防止了漏水问题，确保真空磁控镀膜设备在操作过程中不会泄漏的问题，提高了设备的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种旋转阴极靶筒靶头的连接结构，其特征在于：包括靶筒（1），所述靶筒（1）上方设置有靶筒法兰（2），所述靶筒法兰（2）外侧设置有密封圈挤压槽（3），所述密封圈挤压槽（3）内设置有部分突出于密封圈挤压槽（3）外的第一密封圈（4），所述靶筒法兰（2）外侧套接有靶头（5），所述靶筒法兰（2）与靶头（5）外侧设置有卡箍（6）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 镇江市德利克真空设备科技有限公司 一种旋转阴极靶筒靶头的连接结构
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