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申请/专利权人：巴彦淖尔聚光硅业有限公司
摘要：本申请的实施例涉及多晶硅生产系统领域，并提供一种多晶硅生产系统及其中的尾气回收系统，其包括调压单元、补气管、氢气管、氮气管、泄压管、含氮尾气管和含氢尾气管，调压单元分别与补气管和泄压管连接，补气管与氢气管或者氮气管连接，氢气管用于与氢气源连接，氮气管用于与氮气源连接，泄压管与含氮尾气管或者含氢尾气管连接，含氮尾气管用于与三废处理系统连接，含氢尾气管用于与多晶硅生产系统的再生冷凝单元连接。本申请利用氢气调压，可将含氢尾气直接引入多晶硅生产系统的再生冷凝单元，降低投资成本，同时有利于提高多晶硅产品质量，大幅降低三废能耗，并采用氮气作为应急保护气和维修置换气，提高了整个系统的安全性。
主权项：1.一种多晶硅生产系统中的尾气回收系统，其特征在于，包括：调压单元100、补气管1、氢气管2、氮气管3、泄压管4、含氮尾气管5和含氢尾气管6，所述调压单元100分别与所述补气管1和泄压管4连接，所述补气管1与所述氢气管2和所述氮气管3中的一个或两个连接，所述氢气管2用于与氢气源连接，所述氮气管3用于与氮气源连接，所述泄压管4与含氮尾气管5和所述含氢尾气管6中的一个或两个连接，所述含氮尾气管5用于与三废处理系统连接，所述含氢尾气管6用于与多晶硅生产系统的再生冷凝单元200连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 巴彦淖尔聚光硅业有限公司 一种多晶硅生产系统及其中的尾气回收系统
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