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申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置，设置三个加热器，预加热罐内的第一加热器将磷酸清洗液加热到80℃‑90℃，80℃‑90℃的磷酸溶液较为稳定，不容易失水，并且粘度适中，由于磷酸溶液预先进行加热减少了第二加热器的加热工作量，使得整体生产时间缩短。在晶圆清洗阶段，由循环加热器维持磷酸清洗槽内温度稳定。
主权项：1.一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置，其特征在于，包括：磷酸储液罐1，用于存储磷酸；预加热罐2，所述预加热罐2与磷酸储液罐1连通，具有第一软水进水管21且内部具有第一加热器22，预加热罐2能够接收第一软水进水管21通入的纯水和来自磷酸储液罐1的磷酸，以配置所需浓度的磷酸清洗液；第二加热器31，贴附在磷酸清洗槽3的槽壁上，所述磷酸清洗槽3与所述预加热罐2连通，第二加热器31将磷酸清洗液加热到所需温度；循环加热器4，与所述磷酸清洗槽3连接，磷酸清洗槽3内的磷酸清洗液能够经过循环加热器4的加热再次回流到磷酸清洗槽3内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种晶圆清洗用磷酸溶液加热装置
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