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一种电子级四氯化硅的生产装置 

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申请/专利权人:洛阳中硅高科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种电子级四氯化硅的生产装置,包括管道混合器,用于将氯气与四氯化硅原料在管道混合器内进行预混合,精馏塔,包括塔顶出口、塔釜出口以及设置在塔顶出口和塔釜出口之间的进料口、回流口和产品出口,精馏塔进料口与管道混合器的出口连通,精馏塔的塔顶出口通过塔顶冷凝器、下液管道与回流罐连通,回流罐的出口通过排料管道与回流口连通;光氯化装置,包括设置在下液管道和或排料管道的若干视镜以及设置在视镜外部一侧的紫外光光源。本方案通过在精馏塔的回流管道上设置光氯化装置,对光氯化反应除杂和精馏除杂进行了集成,在精馏塔回流管道进行光氯化,可同时实现反应除杂和精馏除杂,设备更加集中,流程更加简单。

主权项:1.一种电子级四氯化硅的生产装置,其特征在于:包括:管道混合器,用于将氯气与四氯化硅原料在管道混合器内进行预混合;精馏塔,包括塔顶出口、塔釜出口以及设置在塔顶出口和塔釜出口之间的进料口、回流口和产品出口,精馏塔进料口与管道混合器的出口连通,精馏塔的塔顶出口通过塔顶冷凝器、下液管道与回流罐连通,回流罐的出口通过排料管道与回流口连通;光氯化装置,包括设置在下液管道和或排料管道的若干视镜以及设置在视镜外部一侧的紫外灯光源。

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权利要求:

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