龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开了一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法。温度波动衰减器包括主壳体和多个多孔板，主壳体内部为空心，形成空腔结构，每个多孔板为布有小孔的圆板，多个多孔板沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减；优化制造方法包括获取空腔结构的体积V、多孔板的直径D、超洁净流体的密度ρ、流体的流速v和时滞时间τ，然后构建温度波动衰减器的时滞模型Gs，最终针对时滞模型Gs进行优化求解，求解出多孔板的数量N，多孔板上的小孔数量n，多孔板上的小孔孔径d，进而制造得到优化后的温度波动衰减器。本发明提高了衰减器在高频温度扰动下的衰减性能，有利于提高光刻机的温度控制精度。
主权项：1.一种基于级联系统的温度波动衰减器，其特征在于：包括主壳体和多个多孔板（4）；所述主壳体内部为空心，形成空腔结构，空腔结构沿流体的流通方向的两端设置有出入口；每个所述多孔板（4）为布有小孔（8）的圆板，多个多孔板（4）沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板（4）垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号