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摘要：本发明提供了一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用，属于光学薄膜技术领域。本发明提供的极紫外波段薄膜滤片包括依次叠层设置的第一Si膜层、Al膜层和第二Si膜层；所述第一Si膜层和第二Si膜层的厚度总和为5～25nm。本发明在传统Al膜层的基础上增加了Si膜层形成三明治结构，其中，Si膜层对Al膜层具有良好的保护作用，能够显著提高所得极紫外波段薄膜滤片的抗氧化能力，同时不影响其光学性能。本发明提供的极紫外波段薄膜滤片无需使用金属或有机物支撑结构，可实现自支撑，在EUV范围内透过率高，抗氧化性能良好，适用于16.5～18.0nm的极紫外波段，有利于其在极紫外望远镜或成像仪中应用。
主权项：1.一种极紫外波段薄膜滤片，其特征在于，包括依次叠层设置的第一Si膜层、Al膜层和第二Si膜层；所述第一Si膜层和第二Si膜层的厚度总和为5～25nm。
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百度查询： 科晶瑞思(苏州)科技有限公司 一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用
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