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摘要:本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种边缘不完整区域WAT测试方法、系统及可读存储介质,方法包括:根据晶圆的晶圆图获取各个partialsite中每个testkey距离晶圆中心最远的焊盘的判别坐标,计算判别坐标与晶圆中心之间的距离;将计算得到的距离与晶圆的有效半径进行比较,若距离小于有效半径,则表示对应的testkey是完整的;反之,则表示对应的testkey是不完整的;建立测试程式,根据测试程式对晶圆上所有的完整的testkey进行WAT测试,不完整的testkey自动跳过不测。该方法能够简单快捷的判断出partialsite中各个testkey是否完整。
主权项:1.一种边缘不完整区域WAT测试方法,其特征在于,包括以下步骤:根据晶圆的晶圆图获取各个partialsite中每个testkey距离晶圆中心最远的焊盘的判别坐标,计算所述判别坐标与所述晶圆中心之间的距离;将计算得到的所述距离与所述晶圆的有效半径进行比较,若所述距离小于所述有效半径,则表示对应的所述testkey是完整的;反之,则表示对应的所述testkey是不完整的;建立测试程式,根据所述测试程式对所述晶圆上所有的完整的testkey进行WAT测试,不完整的testkey自动跳过不测。
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百度查询: 杭州积海半导体有限公司 边缘不完整区域WAT测试方法、系统及可读存储介质
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