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摘要：本申请公开了多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置，本申请涉及电源技术领域，多段阻抗的匹配器电路包括：输入接口，输入接口用于输入待匹配信号；控制电路，控制电路的第一输入端与输入接口连接，控制电路用于检测待匹配信号的频率和功率，并输出对应的调节信号；至少一个阻抗调节电路，阻抗调节电路的输入端与输入接口连接，阻抗调节电路的受控端与控制电路的输出端连接，阻抗调节电路用于根据调节信号，调节阻抗值。本申请能够实现对不同频率和功率的信号的自适应阻抗匹配，满足不同应用场景的需求。
主权项：1.一种多段阻抗的匹配器电路，应用于等离子体产生装置，其特征在于，所述匹配器电路包括：输入接口，所述输入接口用于输入待匹配信号；控制电路，所述控制电路的第一输入端与所述输入接口连接，所述控制电路用于检测所述待匹配信号的频率和功率，并输出对应的调节信号；至少一个阻抗调节电路，所述阻抗调节电路的输入端与所述输入接口连接，所述阻抗调节电路的受控端与所述控制电路的输出端连接，所述阻抗调节电路用于根据所述调节信号，调节阻抗值。
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百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置
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