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摘要：本申请提供一种键合装置。该键合装置包括：基座；门架，设置于基座之上，并包括与基座相对设置的顶板；第一卡盘，设于顶板并朝向基座，第一卡盘被配置为承载待键合的第一元件；可移动载物台，朝向顶板，可移动载物台被配置承载待键合的第二元件，以带动第二元件在基座所在平面内移动，对准第一卡盘所承载的第一元件进行键合；以及拾取头，能够被驱动在所述顶板与所述基座之间移动且被配置为拾取第二元件，并将拾取的所述第二元件转移至所述可移动载物台。由此，提高键合装置的稳定性以及可移动载物台的运动精度，还可以降低键合装置内部环境颗粒掉落在第一元件表面的风险，从而降低第一元件表面被污染的风险。
主权项：1.一种键合装置，其特征在于，包括：基座；门架，设置于所述基座之上，并包括与所述基座相对设置的顶板；第一卡盘，设于所述顶板并朝向所述基座，所述第一卡盘被配置为承载待键合的第一元件；可移动载物台，朝向所述顶板，所述可移动载物台被配置承载待键合的第二元件，以带动所述第二元件在所述基座所在平面内移动，对准所述第一卡盘所承载的所述第一元件进行键合；以及拾取头，能够被驱动在所述顶板与所述基座之间移动且被配置为拾取第二元件，并将拾取的所述第二元件转移至所述可移动载物台。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉新芯集成电路股份有限公司 一种键合装置
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