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摘要:本发明公开了一种探针针尖电化学腐蚀成型装置,包括:支架;升降机构,升降机构包括承载台,承载台用于承载盛放电解液的容器;夹持组件,固定于支架上,夹持组件包括第一夹持板和第二夹持板,第一夹持板和第二夹持板弹性连接以夹持探针,第一夹持板和或第二夹持板为导电板,导电板用于与电源正极连接;阴极导电件,固定于支架上,用于与电源的负极连接;高度检测机构,用于检测承载台的位置高度。本方案可实现对探针的无损夹持,确保针尖腐蚀深度、针尖尺寸的一致性。
主权项:1.一种探针针尖电化学腐蚀成型装置,其特征在于,包括:支架;升降机构,所述升降机构包括承载台,所述承载台用于承载盛放电解液的容器;夹持组件,固定于所述支架上,所述夹持组件包括第一夹持板和第二夹持板,所述第一夹持板和所述第二夹持板弹性连接以夹持探针,所述第一夹持板和或所述第二夹持板为导电板,所述导电板用于与电源正极连接;阴极导电件,固定于所述支架上,用于与所述电源的负极连接;高度检测机构,用于检测所述承载台的位置高度。
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百度查询: 强一半导体(苏州)股份有限公司 探针针尖电化学腐蚀成型装置
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