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摘要：本发明的课题在于提供一种能够高分辨率、高灵敏度、高SN且高精度地对被高速搬送的试样进行检查的检查装置，以至少具备用于搬送作为检查对象的试样的搬送机构、呈辐射状地向该被搬送的试样所通过的区域照射辐射线的辐射线源、配置为能够探测透过了所述被搬送的试样的辐射线并将探测到的辐射线变换为电信号的检测器、使所述检测器沿着试样被所述搬送机构搬送的方向移动的移动机构、以及根据在试样通过所述区域的时间中所得到的来自检测器的试样的图像信息和来自所述搬送机构的试样的移动信息来判断试样中的缺陷的有无的判定部件的检查装置为宗旨，提出使用该装置来进行试样中的异物的检查。
主权项：1.一种检查装置，至少具备：搬送机构，其搬送作为检查对象的试样；辐射线源，其呈辐射状地向被搬送的试样所通过的区域照射辐射线；检测器，其被配置为能够探测透过了所述被搬送的试样的辐射线并将探测到的辐射线变换为电信号；移动机构，其使所述检测器沿着试样被所述搬送机构搬送的方向移动；以及判定部件，其根据在试样通过所述区域的时间中得到的来自检测器的试样的图像信息和来自所述搬送机构的试样的移动信息来判断试样中的缺陷的有无。
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