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摘要：本发明的导电粒子配置膜对于用于进行半导体装置等微间距的导通检查对象的导通检查的检查探头单元有用，在弹性体膜的面方向上配置有导电粒子。弹性体膜的厚度与导电粒子的平均粒径大致一致。导电粒子的端部位于弹性体膜的两面各自的最外表面的附近。也可以层叠相同或者不同的导电粒子配置膜。也可以在导电粒子配置膜的至少一面形成有粘合层。
主权项：1.一种连接器单元，其为层叠型，具有在绝缘性弹性体膜设有贯通电极的柔软性连接器片材和夹持该柔软性连接器片材的作为检查探头材料的一对导电粒子配置膜，该连接器单元的特征在于，导电粒子配置膜是在弹性体膜的面方向上配置有导电粒子的导电粒子配置膜，弹性体膜的厚度与导电粒子的平均粒径大致一致，导电粒子的端部位于弹性体膜的两面各自的最外表面的附近，在各导电粒子配置膜上，与贯通电极对应地以局部地且相互不连结而独立地隔离的方式配置有多个导电粒子，导电粒子的平均粒径d与弹性体膜厚度t满足下式：0.70d≤t≤1.10d，导电粒子以该导电粒子的端部位于从弹性体膜的一方的表面起的厚度的10％以内的方式埋入，或者，导电粒子以该导电粒子的端部位于从弹性体膜的一方的表面起的厚度的30％以内的方式露出，局部地配置于一对导电粒子配置膜的一方的导电粒子的粒子间距离与局部地配置于另一方的导电粒子的粒子间距离以在俯视中导电粒子不重复的方式互相不同。
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百度查询： 迪睿合株式会社 导电粒子配置膜、其制造方法、检查探头单元、导通检查方法
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