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摘要：本发明属于光电探测器件技术领域，公开了一种太赫兹光电探测器及其制备方法。所述太赫兹光电探测器包括衬底，以及所述衬底上依次叠层设置的石墨烯薄膜层、三氧化二铝薄膜层和钙钛矿薄膜层；所述石墨烯薄膜层与所述钙钛矿薄膜层之间形成异质结；所述石墨烯薄膜层表面设置有若干个金属电极层A，且所述金属电极层A设置于所述三氧化二铝薄膜层周围；所述钙钛矿薄膜层表面设置有若干个金属电极层B。本发明制备的太赫兹探测器具有室温工作、高响应度、高探测率的优异性能，能够形成高质量的钙钛矿石墨烯异质结，从而实现太赫兹波段有效探测。
主权项：1.一种太赫兹光电探测器，其特征在于，包括衬底，以及所述衬底上依次叠层设置的石墨烯薄膜层、三氧化二铝薄膜层和钙钛矿薄膜层；所述石墨烯薄膜层与所述钙钛矿薄膜层之间形成异质结；所述石墨烯薄膜层表面设置有金属电极层A，且所述金属电极层A设置于所述三氧化二铝薄膜层周围；所述钙钛矿薄膜层表面设置有金属电极层B。
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百度查询： 宁夏大学 一种太赫兹光电探测器及其制备方法
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