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一种表面等离子体共振的太赫兹传感器 

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摘要:本发明涉及一种表面等离子体共振的太赫兹传感器,属于太赫兹传感技术领域,本发明综合考虑介质层、底面金属板、谐振器单元的合理布局和参数优化,以实现高灵敏度、高选择性和快速响应的传感性能,本发明的由环形谐振器和蝶形谐振器周期性阵列组成,形成新型集成传感器,蝶形谐振器设置在四个金属椭圆的中间,能够增强电磁波与物质之间的相互作用,从而提升传感器性能,在反射光谱中引入等离子体共振,并在横向拉伸时产生红移,实现了高灵敏度和优异的鲁棒性,并且通过优化电磁场分布,增强了传感器对特定频率或折射率的响应能力,还能够更精确地检测到微小的折射率变化,从而提高其灵敏度。

主权项:1.一种表面等离子体共振的太赫兹传感器,其特征在于,包括:基底材料层1,所述基底材料层1为双面抛光的聚合物柔性基底,用于支撑并稳定整个传感器结构;介质层2,所述介质层2位于所述基底材料层1上方,底面金属板3,所述底面金属板3设置在介质层2上方,所述底面金属板3作为反射层,用于全反射入射的太赫兹波,由若干谐振器单元4构成,每个所述谐振器单元4均由环形谐振器5和蝶形谐振器6周期性阵列组成,所述环形谐振器5包括四个金属椭圆7,四个所述金属椭圆7组成一个矩阵,四个所述金属椭圆7为向内倾斜设置,所述蝶形谐振器6设置在四个金属椭圆7的中间,所述蝶形谐振器6包括镜像设置的等边三角金属8;所述金属椭圆7的长轴和竖向夹角θ的范围为4-12°;所述谐振器单元4的协振频率的计算方式如下:

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