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摘要：本发明提供一种晶圆边缘清洗治具及其制作方法，包括：驱动单元、承载单元及清洗单元，其中承载单元固定于驱动单元上，承载单元包括底座及连接于底座上方的柱形的凸出部，驱动单元沿凸出部的中轴线穿过凸出部及底座；清洗单元固定于凸出部上方的驱动单元上且可拆卸，清洗单元至少包括清洗部及主体部，清洗部固定于凸出部的顶部正上方区域的外围的主体部的下方，驱动单元穿过主体部，底座上表面与清洗部下表面之间间隔预设距离。本发明的晶圆边缘清洗治具在对化学机械研磨后的晶圆进行清洗的过程中，保证了晶圆稳固的同时，还能够有效的对晶圆边缘进行清洗，保证了后续晶圆加工的顺利进行，提升了晶圆良率。
主权项：1.一种晶圆边缘清洗治具，其特征在于，包括：驱动单元；承载单元，固定于所述驱动单元上，所述承载单元包括底座以及连接于所述底座上方的柱形的凸出部，所述驱动单元沿所述凸出部的中轴线穿过所述凸出部及所述底座；清洗单元，固定于所述凸出部上方的所述驱动单元上且可拆卸，所述清洗单元至少包括清洗部以及主体部，所述清洗部固定于所述凸出部的顶部正上方区域的外围的所述主体部的下方，所述驱动单元穿过所述主体部，所述底座上表面与所述清洗部下表面之间间隔预设距离。
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百度查询： 重庆芯联微电子有限公司 晶圆边缘清洗治具及其制作方法
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