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摘要：本发明适用于半导体清洗技术领域，提供了一种半导体清洗设备的清洗槽及半导体清洗设备，包括底座，其特征在于：所述底座底部固定连接有多个支撑杆，所述底座顶部固定连接有清洗槽本体，所述清洗槽本体底部连通设置有第一排液管，所述第一排液管贯穿底座设置，所述清洗槽本体一侧设有固定柱，所述固定柱底部与底座固定连接，所述固定柱一侧设有用于对半导体进行安装和定位的安装机构。本发明通过上料机构和固定结构的配合，可以同时对多个半导体晶圆进行固定，且配合角度调节结构可以同时对多个半导体晶圆的位置进行调节，同时可以根据需求可以选择对半导体晶圆集中清洗或单独清洗，从而有利于提高装置的适用范围。
主权项：1.一种半导体清洗设备，包括底座1，其特征在于：所述底座1底部固定连接有多个支撑杆11，所述底座1顶部固定连接有清洗槽本体12，所述清洗槽本体12底部连通设置有第一排液管13，所述第一排液管13贯穿底座1设置，所述清洗槽本体12一侧设有固定柱14，所述固定柱14底部与底座1固定连接，所述固定柱14一侧设有用于对半导体进行安装和定位的安装机构2；所述安装机构2包括用于对半导体进行安装的固定结构21，以及用于驱动半导体于清洗槽内进行清洗的第一驱动结构22，所述固定结构21数量设为多个，多个所述固定结构21同轴分布；所述固定柱14与安装机构2之间设有用于对安装机构2位置进行调节的位置调节机构3；所述底座1顶部设有用于对半导体进行药业浸泡的浸泡机构4，所述浸泡机构4包括浸药槽41和第二驱动结构42，所述浸药槽41底部与底座1固定连接，所述浸药槽41底部连通设置有第二排液管43，所述第二排液管43贯穿底座1设置；所述底座1顶部还设置有用于对半导体进行单独清洗的清洗机构5；所述底座1顶部还设置有用于对半导体进行上料的上料机构6。
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百度查询： 安徽舜派金属科技有限公司 一种半导体清洗设备的清洗槽及半导体清洗设备
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