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一种粒子系统和粒子束的矫正方法 

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摘要:本申请提供了一种粒子系统和粒子束的矫正方法,涉及粒子技术领域,以解决粒子束与透镜组件不匹配的问题。本申请提供的粒子系统包括粒子源组件、粒子矫正器和透镜组件;粒子源组件用于产生粒子束,粒子矫正器包括N个堆叠设置的矫正板,每个矫正板具有M个通孔和M个电极组件,M个通孔用于接收粒子束,M个电极组件与M个通孔一一对应设置,每个电极组件用于在对应的通孔内产生矫正电场,以对粒子束的传播方向进行矫正;M为大于或等于1的整数,N为大于或等于1的整数。当粒子系统中存在装配误差或电磁干扰时,通过粒子矫正器可以改变粒子束的传播方向,以使粒子束的光轴与透镜的光轴保持重合或大致重合的相对关系,具有较高的调节效果。

主权项:一种粒子系统,其特征在于,包括粒子源组件、粒子矫正器和透镜组件;所述粒子源组件用于产生粒子束;所述粒子矫正器包括N个堆叠设置的矫正板;每个所述矫正板具有M个通孔和M个电极组件,所述M个通孔用于接收所述粒子源组件产生的所述粒子束;M个所述电极组件与M个所述通孔一一对应设置,每个所述电极组件用于在对应的所述通孔内产生矫正电场;其中,M为大于或等于1的整数,N为大于或等于1的整数。

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