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摘要：本发明涉及一种微量参杂锗锌的氧化铟多孔结构隔热膜电极及其制备方法，微量掺杂锗锌的氧化铟多孔结构隔热膜电极由以下制备步骤得到：原料选择、混合、碳化、喷雾造粒、冷压成型、烧结、溅射和退火。本发明的微量掺杂锗锌的氧化铟靶材通过将氧化锌粉末和氧化锗粉末掺杂在氧化铟粉末中，使得靶材的致密度和导电率得到了提高，并且通过不断优化制备工艺和工艺参数，可以获得具有综合性能优异的氧化铟多孔隔热膜电极，使得其能够满足不同应用领域的需求。
主权项：1.一种微量参杂锗锌的氧化铟多孔结构隔热膜电极的制备方法，其特征在于步骤如下：步骤1、混合：将氧化铟、氧化锗、氧化锌混合成粉后，将水溶性碳源溶于去离子水中充分溶解后，加入聚乙烯吡咯烷酮充分溶解，再加入铟氧化物混合物超声处理，得到铟氧化物溶解完全的混合溶液；步骤2、碳化：将混合溶液于-60℃～-40℃中冷冻处理6-10h后，真空干燥50-70h，再置于通有氩氢混合气体的管式炉中进行以1-10℃min的升温速率升温至450-900℃进行碳化，并保温1-3h，得到具有多孔碳包覆结构的铟氧化物复合浆料；所述氩氢混合气体中氢气的体积分数为5％步骤3、喷雾造粒：将所得浆料进行喷雾造粒，得到混合粉末；步骤4、冷压成型：将混合粉末放入模具中，采用冷压成型工艺，将粉末压制成预成型体；步骤5：烧结：将预成型体放入烧结炉进行烧结，以0.3-2.1℃min的升温速率升温至300℃，进行一次脱水；再以1.6-2.85℃min的升温速率由300℃升温至650℃进行二次脱水，再以4-6℃min的升温速率由650℃升温至900-1200℃进行保温、保温时间1-2h；继续以0.5-2℃min的升温速率由900-1200℃升温至1460-1490℃，保温5-40h，随后在300-650℃烧结脱脂，在900-1490℃烧结通氧，降温得到微量掺杂锗锌的铟基基底；步骤6、溅射：取基底置于磁控溅射台上，先在基底上沉积粘结剂层，然后再周期性依次沉积隔热层和反射层，得到薄膜粗品；步骤7、退火：对薄膜粗品进行退火处理，得到微量掺杂锗锌的氧化铟多孔隔热膜电极。
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