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摘要:本公开公开一种半导体元件及其制备方法。半导体元件包括一基底;一底部内连接层,其设置于该基底中;一底部介电层,其设置于该基底上;一内连接结构,其沿着该底部介电层设置,设置于该底部内连接层上,并设置于该底部介电层上;一顶部胶合层,其共形地设置于该底部介电层与该内连接结构上;一顶部介电层,其围绕该顶部胶合层设置。该顶部胶合层的顶面与顶部介电层的顶面实质上共平面。该顶部介电层是多孔的。
主权项:1.一种半导体元件,包括:一基底;一底部内连接层,其设置于该基底中;一底部介电层,其设置于该基底上;一内连接结构,其沿着该底部介电层设置,设置于该底部内连接层上,并设置于该底部介电层上;一顶部胶合层,其共形地设置于该底部介电层与该内连接结构上;一顶部介电层,其围绕该顶部胶合层设置;其中该顶部胶合层的顶面与顶部介电层的顶面实质上共平面;其中该顶部介电层是多孔的。
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百度查询: 南亚科技股份有限公司 具有多孔层的半导体元件
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