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摘要：一种凹腔型螺旋波等离子体源，涉及等离子体科学技术领域。为解决现有技术中存在的，直线装置在放电中往往会破坏装置既定的磁场位形使实验产生偏差，在强磁场下难以达到符合预期的效果的技术问题，本发明提供的技术方案为：一种凹腔型螺旋波等离子体源，包括：真空密封及支撑部分，包括石英钟罩，为钟形，用于提供真空环境，底部固定在主法兰上，主法兰连接外部设备；所述电磁屏蔽与散热部分，包括屏蔽罩，为筒形，用于提供屏蔽能力，套接在所述主法兰外侧；天线，为L形，用于连接外部水冷系统和电源，设置在所述石英钟罩和屏蔽罩之间。所述述屏蔽罩通过内螺纹与所述主法兰连接，通过风扇和扇形空隙实现散热。应用于等离子体领域的等离子体源。
主权项：1.一种凹腔型螺旋波等离子体源，其特征在于，包括：真空密封及支撑部分，包括石英钟罩，为钟形，用于提供真空环境，底部固定在主法兰上，主法兰连接外部设备；所述电磁屏蔽与散热部分，包括屏蔽罩，为筒形，用于提供屏蔽能力，套接在所述主法兰外侧；天线，为L形，用于连接外部水冷系统和电源，设置在所述石英钟罩和屏蔽罩之间。
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百度查询： 哈尔滨工业大学 一种凹腔型螺旋波等离子体源
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