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一种高回收率的光刻胶剥离液 

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摘要:本发明属于光刻胶技术领域,具体公开了一种高回收率的光刻胶剥离液,按照质量百分比计,包括:极性有机溶剂94‑97%,有机碱2‑5%,缓蚀剂0.01‑0.2%,助剂0.1‑1%。本发明提供的光刻胶剥离液,可增强光刻胶的剥离效果,减少对钼层和基板铜层的损伤,且极性有机溶剂的回收率提升,降低有机废物焚烧处置率,从而在环境保护方面有积极作用。

主权项:1.一种高回收率的光刻胶剥离液,其特征在于,按照质量百分比计,包括:极性有机溶剂94-97%,有机碱2-5%,缓蚀剂0.01-0.2%,助剂0.1-1%;所述助剂具有式Ⅰ所示结构: 其中,n为8-12内任一整数,m为4-8内任一整数。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 合肥中聚和成电子材料有限公司 一种高回收率的光刻胶剥离液

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