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摘要：本申请提供驱动电压设定方法、压电驱动装置及移动工作台，驱动电压设定方法用于使压电驱动装置发挥稳定的驱动特性，压电驱动装置具有稳定的驱动特性。驱动电压设定方法是设定压电驱动装置的驱动电压的驱动电压设定方法，所述压电驱动装置具有：振动部，具备压电元件，并通过被施加所述驱动电压而进行振动；以及凸部，配置于所述振动部，向被驱动部传递驱动力，在所述驱动电压设定方法中，向所述压电元件施加检测驱动电压而使所述被驱动部移动，并基于使所述检测驱动电压减小而所述被驱动部的移动速度变为第一阈值以下时的基准电压来设定所述驱动电压。
主权项：1.一种驱动电压设定方法，其特征在于，设定压电驱动装置的驱动电压，所述压电驱动装置具有：振动部，具备压电元件，并通过被施加所述驱动电压而进行振动；以及凸部，配置于所述振动部，向被驱动部传递驱动力，在所述驱动电压设定方法中，向所述压电元件施加检测驱动电压而使所述被驱动部进行移动，并基于使所述检测驱动电压减小而所述被驱动部的移动速度变为第一阈值以下时的基准电压来设定所述驱动电压。
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百度查询： 精工爱普生株式会社 驱动电压设定方法、压电驱动装置及移动工作台
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