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摘要：本申请涉及微机电系统领域，具体涉及一种MEMS微镜及其制造方法，MEMS微镜包括支撑框架、镜面以及驱动组件，驱动组件设有位于支撑框架与镜面之间的驱动结构；驱动结构由至少一个磁致伸缩层和至少一个非磁致伸缩层组合形成，其中非磁致伸缩层配置为贴合设置于磁致伸缩层的一侧表面，以使磁致伸缩层在磁场作用下，或缩短并带动非磁致伸缩层朝非磁致伸缩层所在侧方向弯曲，或伸长并带动非磁致伸缩层朝非磁致伸缩层所在侧方向的反方向弯曲，从而驱动镜面偏转；该MEMS微镜的结构不仅能够保证结构稳定性、高可靠性和响应速度，还兼顾结构的简单化，有助于实现MEMS微镜小型化和集成化，制作工艺简单，易于实现，适合规模化工业应用。
主权项：1.一种MEMS微镜，其特征在于，包括：支撑框架；镜面，设于所述支撑框架内；以及驱动组件，设有位于所述支撑框架与所述镜面之间的驱动结构；所述驱动结构由至少一个磁致伸缩层和至少一个非磁致伸缩层组合形成，其中所述非磁致伸缩层配置为贴合设置于所述磁致伸缩层的一侧表面，以使所述磁致伸缩层在磁场作用下，或缩短并带动所述非磁致伸缩层朝所述非磁致伸缩层所在侧方向弯曲，或伸长并带动所述非磁致伸缩层朝所述非磁致伸缩层所在侧方向的反方向弯曲，从而驱动所述镜面偏转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京理工大学重庆微电子研究院 MEMS微镜及其制造方法
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