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摘要：本发明提供一种可精度良好地分注液滴的液滴分注装置、传感器板及液滴检测方法。液滴分注装置2包括：头部26，喷出液滴；以及传感器板12，配置于头部26与孔板10之间，在所述传感器板12中，与多个孔24分别对应地形成有多个开口部42，且在多个开口部42各自的周缘部分别配置有多个静电电容传感器46。
主权项：1.一种液滴分注装置，用于将液滴分注至在主表面形成有多个孔的孔板，所述液滴分注装置包括：喷出部，朝向所述多个孔中的一个以上的孔喷出液滴；以及传感器板，配置于所述喷出部与所述孔板之间，在所述传感器板中，与所述多个孔分别对应地形成有多个开口部，且在所述多个开口部各自的周缘部分别配置有多个静电电容传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 船井电机株式会社 液滴分注装置、传感器板及液滴检测方法
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