龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：一种纳米片结构的制备方法和环栅式晶体管的制备方法。该纳米片结构的制备方法包括：提供纳米片基材，其中，纳米片基材包括衬底、设置在衬底上的第一材料层以及设置在第一材料层的远离衬底一侧的第二材料层，第一材料层具有第一侧壁，第二材料层具有第二侧壁；在第二侧壁上采用自对准的方式形成第一掩模；以及通过第一掩模对第一侧壁进行刻蚀，以使第一侧壁相对于第二侧壁内缩，形成凹口。该制备方法形成的纳米片结构中，第二材料层的第二侧壁形貌更均一，并且该制备方法无需增加额外光罩，成本较低且工艺友好。
主权项：1.一种纳米片结构的制备方法，包括：提供纳米片基材，其中，所述纳米片基材包括衬底、设置在所述衬底上的第一材料层以及设置在所述第一材料层的远离所述衬底一侧的第二材料层，所述第一材料层具有第一侧壁，所述第二材料层具有第二侧壁，在所述第二侧壁上采用自对准的方式形成第一掩模，以及通过所述第一掩模对所述第一侧壁进行刻蚀，以使所述第一侧壁相对于所述第二侧壁内缩，形成凹口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 纳米片结构的制备方法和环栅式晶体管的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号