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摘要：本申请涉及一种太阳盲光紫外探测器及其制作方法，太阳盲光紫外探测器包括：衬底；第一氧化锗薄膜层，形成于所述衬底的表面；第二氧化锗薄膜层，形成于所述第一氧化锗薄膜层的表面，所述第二氧化锗薄膜层与第一氧化锗薄膜层的带隙不同；以及电极层，形成于所述衬底的一侧。在本申请中，第一氧化锗薄膜层和第二氧化锗薄膜层具有不同的带隙，有助于探测器在太阳盲区的全波段（大约200‑280纳米）内实现高灵敏度的探测。
主权项：1.一种太阳盲光紫外探测器，其特征在于，包括：衬底1；第一氧化锗薄膜层2，形成于所述衬底1的表面，所述第一氧化锗薄膜层2中掺杂有钛元素或者锡元素；第二氧化锗薄膜层3，形成于所述第一氧化锗薄膜层2的表面，所述第二氧化锗薄膜层3中掺杂有镓元素或者镁元素，所述第二氧化锗薄膜层3与第一氧化锗薄膜层2的带隙不同；以及电极层，至少形成于所述衬底1的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波大学 一种太阳盲光紫外探测器及其制作方法
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