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摘要：本发明的一方式涉及一种感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜、具有图案的树脂膜的制造方法、及半导体电路基板，所述感光性树脂组合物含有：A聚合物，为选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体所组成的群组中的至少一种、且包含具有源自下述式1所表示的酸酐的结构单元的结构单元a以及源自二胺的结构单元b、并且在聚合物末端具有马来酰亚胺基等；B光聚合引发剂；及D溶媒。〔式1中，L表示单键等，R1～R3表示氢原子等、或表示同一环内的R1与R2或R3相互键结而形成的亚烷基，n1～n2表示0～3的整数，Y1表示式Y1‑Ar1‑等所表示的结构。〕

主权项：1.一种感光性树脂组合物，含有：A聚合物，为选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体所组成的群组中的至少一种；B光聚合引发剂；以及D溶媒，所述聚合物A包含源自酸酐的结构单元a、以及源自二胺的结构单元b，所述结构单元a包含源自下述式1所表示的酸酐的结构单元a1，所述聚合物A在侧链末端及主链末端的至少一个中具有下述式eg1或式eg2所表示的基、或马来酰亚胺基。[化1] 〔所述式1中，L独立地表示单键、酯键、或酰胺键，R1、R2及R3分别独立地表示氢原子、或碳数1～6的烷基，或者表示同一环内的R1与R2或R1与R3相互键结而形成的碳数1～4的亚烷基，n1及n2分别独立地表示0～3的整数其中，在同一环内，n1与n2的至少一者为1以上的整数。，Y1表示下述式Y1或式Y2所表示的结构；*-Ar1-*…Y1*-Ar2-Y2-Ar2-*…Y2所述式Y1及式Y2中，*表示对所述式1中的L而言的键，Ar1及Ar2分别独立地表示自未经取代的芳香环、或经碳数1～6的烷基或烷氧基取代的芳香环中去除芳香环上的两个氢原子而成的基，所述式Y2中的Y2为单键、氧原子、硫原子、选自由磺酰基、羰基、亚甲基、二甲基亚甲基、及双三氟甲基亚甲基所组成的群组中的至少一种基。〕[化2]*-Leg1—Reg1eg1 〔所述式eg1及式eg2中，Leg1及Leg2分别独立地表示碳数1～5的烷二基、碳数6～10的芳香族烃基、或选自这些中的两个以上的基经单键、-O-、-S-、-SO2-、-NH-、-NH-CO-、-CO-、或-COO-连结而成的基，Reg1及Reg2分别独立地表示乙烯基、或甲基丙烯酰基，*表示与聚合物链的键结部位。〕

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