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摘要：本发明提供了一种热敏薄膜电阻及其制备方法；通过包括衬底，衬底上设置有第一热敏薄膜层，第一热敏薄膜层上设置有叉指金属电极层，叉指金属电极层的的间隔处填充设置有热敏材料填充层，热敏材料填充层的厚度与叉指金属电极层的厚度一致，热敏材料填充层与叉指金属电极层上覆盖设置有第二热敏薄膜层，叉指金属电极层的两端分别设置有第一电极端以及第二电级端；通过上下堆叠的方法使叉指金属电极层包覆于第一热敏薄膜层以及第二热敏薄膜层之间，在施加恒定电流工作时使叉指金属电极层、第一热敏薄膜层以及第二热敏薄膜层形成并联通路；更小的体积和表面积使得热敏元件具有更低的体积热容，带来了响应速度和灵敏度方面的性能提升。
主权项：1.一种热敏薄膜电阻，其特征在于，包括衬底，所述衬底上设置有第一热敏薄膜层，所述第一热敏薄膜层上设置有叉指金属电极层，所述叉指金属电极层的的间隔处填充设置有热敏材料填充层，所述热敏材料填充层的厚度与所述叉指金属电极层的厚度一致，所述热敏材料填充层与所述叉指金属电极层上覆盖设置有第二热敏薄膜层，所述叉指金属电极层的两端分别设置有第一电极端以及第二电级端。
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百度查询： 中国科学院新疆理化技术研究所 一种热敏薄膜电阻及其制备方法
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