龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开了用于VCSEL芯片湿法氧化孔径的监测调控方法及装置，涉及垂直腔面发射激光器相关领域，该方法包括：获得光束期望直径、光束期望发散角、光束期望轮廓和桶中期望功率；根据VCSEL芯片应用场景类型，采集氧化孔形状参数和氧化孔均匀系数；通过光束质量预测器进行映射，生成光束预测直径、光束预测发散角、光束预测轮廓和桶中预测功率；选取满足光束期望直径、光束期望发散角、光束期望轮廓和桶中期望功率的湿法氧化控制参数，设为监测调控基准参数；进行湿法氧化监控。解决了现有VCSEL芯片湿法氧化孔径调控存在的精度控制不足的技术问题，达到了提高VCSEL芯片氧化孔径的精度控制水平的技术效果。
主权项：1.用于VCSEL芯片湿法氧化孔径的监测调控方法，其特征在于，包括：响应于用户端提交的VCSEL芯片氧化孔径优化请求，获得光束期望直径、光束期望发散角、光束期望轮廓和桶中期望功率；根据所述VCSEL芯片氧化孔径优化请求的VCSEL芯片应用场景类型，采集氧化孔形状参数和氧化孔均匀系数；根据所述氧化孔形状参数和所述氧化孔均匀系数，通过光束质量预测器进行映射，生成光束预测直径、光束预测发散角、光束预测轮廓和桶中预测功率；根据所述光束预测直径、所述光束预测发散角、所述光束预测轮廓和所述桶中预测功率，选取满足所述光束期望直径、所述光束期望发散角、所述光束期望轮廓和所述桶中期望功率的湿法氧化控制参数，设为监测调控基准参数；根据所述监测调控基准参数进行湿法氧化监控。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏永鼎股份有限公司 用于VCSEL芯片湿法氧化孔径的监测调控方法及装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号