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摘要：本发明公开了一种用于晶圆蚀刻加工的可调式清洗花篮，属于晶圆清洗技术领域，本发明是在旋转安装的定位套上环形开设多组用于晶圆底部限位的定位槽，以及设置多组对晶圆外部限位的U型定位架，工作时，其中一组定位槽旋转调整至正上方位置，将U型定位架旋转至上方一侧，逐次将晶圆放入多个定位槽内，再反向旋转U型定位架复位，向下按压限位结构即可对晶圆顶部限位，如此循环操作将多组晶圆一一定位分布于定位套圆周方向上，一方面通过圆周嵌套的方式大大增加了晶圆放置数量，另一方面采用旋转倾斜避让的方式，在缩小整体框架的前提下，不会对晶圆放置工作造成影响，此外，在清洗过程中，晶圆随定位套旋转运动，增强清洗效果。

主权项：1.一种用于晶圆蚀刻加工的可调式清洗花篮，包括一对支撑架（2），一对支撑架（2）相对端壁上均转动安装有限位盘（3），所述限位盘（3）内端通过贯穿至支撑架（2）外部的转动柱（10）与其转动衔接，一对所述限位盘（3）之间固定有定位套（1），其特征在于：所述定位套（1）内部开设有两端开口的圆柱腔，所述定位套（1）端壁上沿圆周方向开设有多组与圆柱腔连通且用于对晶圆（14）内部进行嵌设安装的定位槽（101），每组定位槽（101）沿水平方向前后均匀分布有多个，一对所述限位盘（3）之间沿其圆周方向滑动安装有多组与定位槽（101）位置对应的U型定位架（4），所述U型定位架（4）的顶端安装有可沿竖直方向上下升降且用于对晶圆（14）外部进行限位的限位结构；所述限位盘（3）端壁上环形开设有多个分别用于多个U型定位架（4）底端壁环形滑动的滑动槽（301），所述滑动槽（301）沿定位槽（101）环形开设方向向下延伸设置，一对所述限位盘（3）之间固定安装有位于中空腔内的喷洗组件，所述转动柱（10）上贯穿插设有与喷洗组件相连通的外进水管（12），所述定位套（1）端壁上开设有多个与定位槽（101）交错分布且与喷洗组件相适配的喷洗槽（103），所述滑动槽（301）呈弧形结构，所述U型定位架（4）前后两侧底端壁均固定连接有与滑动槽（301）滑动安装的磁性滑条（401），所述滑动槽（301）上下两端分别嵌设安装有电磁片（302）和磁吸块（303）；所述限位结构包括滑动安装于U型定位架（4）相对端壁之间的嵌合条（5），所述U型定位架（4）相对端壁上均开设有与嵌合条（5）端部相匹配的滑腔，所述嵌合条（5）左右两端分别贯穿至滑腔外部，所述滑腔的上下端壁之间还固定连接有与嵌合条（5）端部贯穿设置的导向柱（6），所述导向柱（6）上端部套接有固定连接于嵌合条（5）上端壁以及滑腔内顶壁之间的拉伸弹簧（7），所述导向柱（6）的内部嵌合安装有电磁柱，所述嵌合条（5）与导向柱（6）相接触的内部嵌套有与电磁柱相匹配的磁套。

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