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摘要：本发明涉及射频电源技术领域，尤其涉及一种射频电源点火控制方法及系统，该方法应用于包括功率放大器的射频电源，所述方法包括：控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载或输入负载，以使所述腔室负载中的气体过冲点火；在所述气体点火成功后，控制所述功率放大器输出预设目标功率范围内的恒定功率信号至所述腔室负载或输入负载。本发明通过控制功率放大器输出超过目标功率的功率信号到腔室负载或输入负载，实现了气体过冲点火。一旦点火成功，它会调节功率放大器输出恒定功率信号，以保持在预设目标功率范围内，从而解决了点火成功率低的问题。
主权项：1.一种射频电源点火控制方法，其特征在于，应用于包括功率放大器的射频电源，所述方法包括：控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载，以使所述腔室负载中的气体过冲点火；在所述气体点火成功后，控制所述功率放大器输出预设目标功率范围内的恒定功率信号至所述腔室负载；所述控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载，包括：确定功率信号的预设阈值、预设比例值或者预设差值；基于所述功率信号的预设阈值、预设比例值或者预设差值控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载；所述基于所述功率信号的预设阈值、预设比例值或者预设差值控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载，包括：确定所述功率放大器的输出信号占空比；基于所述功率信号的预设阈值、预设比例值或者预设差值通过调节所述功率放大器的输出信号占空比控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载；所述控制所述功率放大器输出高于目标功率的功率信号至腔室负载，以使所述腔室负载中的气体过冲点火之后，还包括：获取所述腔室负载中的气体过冲点火时长；在所述气体过冲点火时长处于所述功率放大器输出功率信号正波形的预设比例时长内时，确定所述气体是否点火成功；若所述气体点火成功，则执行所述在所述气体点火成功后，控制所述功率放大器输出预设目标功率范围内的恒定功率信号至所述腔室负载的步骤；若所述气体点火未成功，则增加所述功率放大器的输出功率或者输出功率信号正波形的预设比例时长，以使所述气体点火成功。
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百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 射频电源点火控制方法及系统
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