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摘要：本发明公开了一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法，属于硅片输送设备技术领域。本发明的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板；第二推齐件用于推齐载盘；载盘定位机构调整载盘位置和角度，使载盘能够准确定位在上料位，方便于将硅片放入相应的载盘，且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。本发明的载板输送系统及输送方法，上料效率和输送效率高，所输送的硅片不易发生损坏。

主权项：1.一种硅片载盘推齐定位装置，其特征在于：包括，载板推齐单元200，所述载板推齐单元200包括输送轨210和升降机构220，所述输送轨210上设置有阻挡机构230和载板推齐机构240；所述输送轨210能够与载板轨道相接通，用于沿第一方向输送载板400，所述阻挡机构230具有阻挡件，所述载板推齐机构240包括第一驱动件和第一推齐件；以及，载盘定位单元300，所述载盘定位单元300包括载盘推齐机构310、载盘定位机构320和安装架330，所述载盘推齐机构310包括第二驱动件和第二推齐件；所述载板400的边框结构内设置有多个并列的载具410，所述载具410上阵列设置有多个载盘420，所述载盘定位单元300用于将载盘420推齐并进行精确定位，克服载板400与载具410之间，以及载具410与载具410之间因活动间隙而产生的载具410偏移的问题，以及消除载盘420之间的位置偏移问题；所述硅片载盘推齐定位装置被配置为：所述阻挡件阻挡载板400停下，所述第一驱动件驱使第一推齐件沿第二方向移动以将所述载板400推齐，所述升降机构220驱使所述输送轨210沿第三方向运动以使所述载板400支撑在所述安装架330上；之后，所述第二驱动件驱使第二推齐件移动以将所述载盘420推齐，所述载盘定位机构320调整载盘420相对于输送轨210的角度和位置；所述载盘定位机构320包括二维移动平台和旋转平台，所述二维移动平台用于调整载盘推齐机构310相对于输送轨210在第一方向和第二方向上的位置，所述旋转平台用于调整载盘推齐机构310相对于输送轨210的角度；或者，所述载盘定位机构为高精度回转定位平台。

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