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摘要：本发明属于一种稀有气体氪氙精制及超纯氧的生产装置以及生产工艺；包括液氧储罐，所述液氧储罐通过液氧泵和低温吸附塔与初级浓缩塔相连；所述初级浓缩塔的塔底液相出口与末端带有高压节流阀的催化氧化系统相连；所述高压节流阀依次通过回冷器的管程、次级浓缩塔、氪氙脱氧塔以及气体加热装置与用于存储和分离氪氙的氪氙分离塔，氪氙分离塔的底部通过第一阀门与氙气充装系统相连，氪氙分离塔的中上部通过第二阀门与氪气充装系统相连；具有结构简单、流程设计合理、成本相对低廉、运行安全、收率高、稀有气体纯度高、经济节能、应用范围广、在有效制备氪氙的前提下能够有效分类回收氧气的优点。

主权项：1.一种稀有气体氪氙精制及超纯氧的生产装置，包括液氧储罐1，其特征在于：所述液氧储罐1通过液氧泵2和低温吸附塔3与初级浓缩塔4相连；所述初级浓缩塔4的塔底液相出口与末端带有高压节流阀5的催化氧化系统相连；所述高压节流阀5依次通过回冷器6的管程、次级浓缩塔7、氪氙脱氧塔8以及气体加热装置9与用于存储和分离氪氙的氪氙分离塔10，氪氙分离塔10的底部通过第一阀门34与氙气充装系统12相连，氪氙分离塔10的中上部通过第二阀门35与氪气充装系统11相连；所述氪氙脱氧塔8的顶部设有氪氙脱氧气相出口，氪氙脱氧气相出口通过第三塔顶冷凝器23的管程分别与液氧泵2进口以及氪氙脱氧塔8中上部的回流口24相连通；所述氪氙分离塔10的顶部设有氪氙分离气相出口，氪氙分离气相出口通过第四塔顶冷凝器25的管程分别与液氧泵2进口以及氪氙分离塔10中上部的回流口26相连通；氮气循环压缩机27的出口通过换热器28的管程分别与初级浓缩塔4底部的第一再沸器29和次级浓缩塔7底部的第二再沸器30相连；第一再沸器29的出口通过第一塔顶冷凝器17的壳程以及换热器28的壳程与氮气循环压缩机27的进口相连；所述第二再沸器30的出口与缓冲罐31的第一进口相连，缓冲罐31的出口分别与回冷器6的壳程、第二塔顶冷凝器20的壳程、第三塔顶冷凝器23的壳程、第四塔顶冷凝器25的壳程相连；回冷器6的壳程出口、第二塔顶冷凝器20的壳程出口、第三塔顶冷凝器23的壳程出口、第四塔顶冷凝器25的壳程出口分别通过换热器28的壳程与氮气循环压缩机27的进口相连；所述缓冲罐31的第二进口通过液氮泵32与液氮储罐33相连。

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