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摘要：基于球坐标测量原理的高精度球度仪，属于球度精密测量技术领域。它提供一种检测精度高，检测全面的基于球坐标测量原理的高精度球度仪；该高精度球度仪，包括高精度卧式主轴、非接触式位移传感器及高精度气体静压转台；所述非接触式位移传感器通过夹具一安装在高精度卧式主轴上，所述被测工件通过夹具二安装在高精度气体静压转台上，所述高精度卧式主轴的回转轴和高精度气体静压转台的回转轴相互垂直设置，通过控制着两个相互垂直回转轴的旋转运动可以模拟出球面的成型轨迹，用于完成球面的完整测量。本发明具有更好的精度，无需担心测量角度的问题，能适应全球面检测，可以兼顾直径大小不同的工件。

主权项：1.一种基于球坐标测量原理的高精度球度仪，其特征在于：包括高精度卧式主轴（2）、非接触式位移传感器（5）及高精度气体静压转台（10）；所述非接触式位移传感器（5）通过夹具一安装在高精度卧式主轴（2）上，被测工件（6）通过夹具二安装在高精度气体静压转台（10）上，所述高精度卧式主轴（2）的回转轴和高精度气体静压转台（10）的回转轴相互垂直设置，通过控制着两个相互垂直回转轴的旋转运动可以模拟出球面的成型轨迹，用于完成球面的完整测量，测量轴系包括第一位移工作台（1）、第二位移工作台（4）、第三位移工作台（7）、第四位移工作台（8）、第五位移工作台（9）、第六位移工作台（11）及大行程位移台（3）；在所述高精度气体静压转台（10）与被测工件（6）之间从下到上依次设置第五位移工作台（9）、第四位移工作台（8）和第三位移工作台（7），分别调整被测工件（6）在XZY三个方向的自由度，用于被测工件（6）在XZ方向上与高精度气体静压转台（10）回转轴线的对心，在Y方向上与高精度卧式主轴（2）回转轴线对心，所述第一位移工作台（1）上安装有高精度卧式主轴（2），用于调节高精度卧式主轴（2）在X方向上的移动，使高精度卧式主轴（2）回转轴线与高精度气体静压转台（10）回转轴线垂直相交，所述第六位移工作台（11）上安装有高精度气体静压转台（10），用于调节高精度气体静压转台（10）在Z方向上的移动，使高精度气体静压转台（10）回转轴线与非接触式位移传感器（5）测量轴线在Z方向上共面，所述第二位移工作台（4）上安装有非接触式位移传感器（5），且第二位移工作台（4）通过大行程位移台（3）安装在高精度卧式主轴（2）上，第二位移工作台（4）用于调节非接触式位移传感器（5）在X方向上的移动，使非接触式位移传感器（5）测量轴线与高精度卧式主轴（2）回转轴线垂直相交，与高精度气体静压转台（10）轴线重合，大行程位移台（3）用于调节非接触式位移传感器（5）在Y方向上的移动；球体测量路径采用覆盖法，覆盖法采用以下步骤：移动第六位移工作台（11）使非接触式位移传感器（5）在Z方向上偏离球心，以高精度卧式主轴（2）提供主要旋转运动测量此位置的球截面，高精度气体静压转台（10）旋转一个预设的小角度以测量下一个截面圆，依次往复可以得测量轨迹；或者，第一步采用纬线法测得三条纬线；第二步，利用经线法测得一条经线，在Z方向上前后移动第六位移工作台（11）得到经线前后两个截面圆的轨迹；第三步，高精度气体静压转台（10）带动被测球旋转90°，重复第二步，得到另三条经线方向的轨迹，该轨迹与第二步得到的轨迹正交；然后将非接触式位移传感器（5）数据代入圆度误差评定方法中即可得到圆度数据。

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