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精密电镀设备 

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摘要:本实用新型公开一种精密电镀设备,其包括在电镀槽设置一固定式阳极电镀模组、一活动式阳极电镀模组及一作动装置,作动装置能带动活动式阳极电镀模组远离固定式阳极电镀模组,拉开彼此之间的纵向空间间距,得以将阴极挂架的阴极板基板放入电镀槽中;其后再由作动装置带动活动式阳极电镀模组移回原位,使固定式阳极电镀模组与活动式阳极电镀模组之间的纵向空间的间距即使缩小,也是能将阴极板置入狭小的空间中,并由此达到阳离子更精密均匀且有效率的覆盖到阴极板表面,具有较高的电流效率,提高反应电镀速度,降低耗电量及电镀成本。

主权项:1.一种精密电镀设备,其特征在于,包括:一电镀槽内垂直设置一固定式阳极电镀模组及一活动式阳极电镀模组,所述固定式阳极电镀模组与所述活动式阳极电镀模组分别设有一阳极板,所述固定式阳极电镀模组与所述活动式阳极电镀模组的阳极板彼此相隔一纵向空间,所述纵向空间提供一阴极挂架的一阴极板置入;所述固定式阳极电镀模组设置在不可移动的一固定式悬吊架下,并固定设置在所述阴极板的第一侧;所述活动式阳极电镀模组设置在可移动的一活动式悬吊架下,并可移动地设置在所述阴极板的第二侧;以及一组作动装置,所述作动装置带动所述活动式悬吊架及所述活动式阳极电镀模组移动到远离所述固定式阳极电镀模组的一开放位置,使所述固定式阳极电镀模组与所述活动式阳极电镀模组的阳极板之间的纵向空间扩大,容许所述阴极挂架的阴极板置入所述纵向空间;所述作动装置也能反向带动所述活动式悬吊架及所述活动式阳极电镀模组移动到靠近所述固定式阳极电镀模组的一关闭位置,使所述固定式阳极电镀模组与所述活动式阳极电镀模组的阳极板之间的纵向空间缩小,使所述固定式阳极电镀模组与所述活动式阳极电镀模组的阳极板靠近所述阴极板的二侧面。

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