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摘要：本实用新型涉及核聚变技术领域，公开了残余气体分析仪的保护装置及残余气体分析系统，残余气体分析仪的进气端连通至真空室和泵组之间的主气路，用于在泵组抽取真空室中气体时，对气体进行采样和分析；保护装置包括保护装置，安装在真空室和残余气体分析仪的进气端之间的主气路上，由真空室向残余气体分析仪进行压强过渡，保持残余气体分析仪的进气端处于安全工作压强之内；本实施例中，真空室的压强大于残余气体分析仪的安全工作压强时，第一阀门关闭，残余气体分析仪的采样气体经支气路流向进气端，由真空室向残余气体分析仪进行压强过渡，保持残余气体分析仪的进气端处于安全工作压强之内。
主权项：1.一种残余气体分析仪的保护装置，其特征在于，所述残余气体分析仪的进气端连通至真空室和泵组之间的主气路，所述主气路上安装有第一阀门，所述残余气体分析仪用于在所述泵组抽取所述真空室中气体时，对气体进行采样和分析；所述保护装置包括支气路，所述支气路并联安装在所述主气路上，所述真空室的压强大于所述残余气体分析仪的安全工作压强时，所述第一阀门关闭，所述残余气体分析仪的采样气体经所述支气路流向所述进气端，由所述真空室向所述残余气体分析仪进行压强过渡，保持所述残余气体分析仪的进气端处于安全工作压强之内。
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百度查询： 陕西星环聚能科技有限公司 残余气体分析仪的保护装置及残余气体分析系统
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