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摘要：本发明涉及一种用于操作气体供应装置1000的方法，其中将该气体供应装置1000的功能参数显示在显示装置124上。另外，本发明涉及一种用于执行该方法的气体供应装置1000以及一种具有气体供应装置1000的粒子辐射设备100。该方法包括预定和或用温度测量单元1006来测量该气体供应装置1000的前体储器1001的当前温度，其中该前体储器1001具有用于供应到物体125，425上的前体；将与该前体储器1001的当前温度相关的、该前体通过该前体储器1001的出口1004的流速从数据库126中加载到控制单元123中，以及i在该显示单元124上显示该流速和或ii在使用该控制单元123的情况下取决于该流速来确定该前体储器1001的功能参数，并且将所确定的功能参数通知该气体供应装置1000的使用者。
主权项：1.一种用于操作粒子辐射设备100，200，400的气体供应装置1000的方法，其中该方法包括以下步骤：-预定该气体供应装置1000的前体储器1001的当前温度T和或用温度测量单元1006来测量该气体供应装置1000的前体储器1001的当前温度T，其中该前体储器1001具有用于供应到物体125，425上的至少一种前体；-将与该前体储器1001的当前温度T相关的、该前体通过该前体储器1001的出口的流速F从数据库126中加载到控制单元中；以及-在使用该控制单元的情况下取决于该流速F来确定该前体储器1001的至少一个功能参数，并且将所确定的功能参数通知该气体供应装置1000的使用者，其中，功能参数为前体储器的当前填充量或者前体通过前体储器的出口完全消耗前体储器的初始填充量之前的剩余运行时间，其中，确定该前体通过该前体储器1001的出口的流速F并且存储在该数据库126中以便从该数据库126中加载到该控制单元中，其中，取决于前体储器的初始填充量、前体储器的最终填充量和可预定的持续时间来确定在可预定温度下该前体的流速F，其中在所述可预定的持续时间中使该前体从该前体储器1001中离开。
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百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 操作气体供应装置的方法、气体供应装置和粒子辐射设备
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