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摘要：本实用新型公开了一种重掺磷晶棒成长过程中的磷收集装置，包括大气喷射器、液环真空泵和冲洗装置；所述大气喷射器包括工作气体进口、抽气口、出气口和冲洗进口；所述抽气口用于与长晶机的出气口连接，所述大气喷射器的出气口与所述液环真空泵的进气口连接；所述冲洗装置的出口端与所述大气喷射器的冲洗进口连接，用于冲洗所述大气喷射器内部。本申请采用大气喷射器和液环真空泵与长晶机连接，可以在极限条件下及时抽取晶棒成长过程中产生的磷氧化物，另外设置的冲洗装置可以定期或出现堵塞时对大气喷射器内部管道进行冲洗，有效防止了磷氧化物在长晶机中的聚集以及在大气喷射器内部的堵塞。
主权项：1.一种重掺磷晶棒成长过程中的磷收集装置，其特征在于，包括大气喷射器、液环真空泵和冲洗装置；所述大气喷射器包括工作气体进口、抽气口、出气口和冲洗进口；所述抽气口用于与长晶机的出气口连接，所述大气喷射器的出气口与所述液环真空泵的进气口连接；所述冲洗装置的出口端与所述大气喷射器的冲洗进口连接，用于冲洗所述大气喷射器内部。
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