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摘要：本发明涉及一种晶棒滚磨方法，包括以下步骤：夹持晶棒；测量晶棒在其轴向方向上的不同位置的直径，以获取多个测量直径；将多个所述测量直径分别与目标直径进行对比，以获取晶棒在其轴向方向上的至少一个待滚磨区域的位置信息，其中，至少一个所述待滚磨区域的测量直径大于目标直径；对晶棒的至少一个待滚磨区域进行滚磨。本发明还涉及一种晶棒滚磨装置。本发明提供的晶棒滚磨方法，首先获取晶棒的轴向方向上的不同位置的直径，并根据所测量的直径和目标直径确定晶棒的待滚磨区域，晶棒的直径大于目标直径的区域即为待滚磨区域，然后仅对晶棒的待滚磨区域进行滚磨，避免磨轮空转，提高滚磨效率。
主权项：1.一种晶棒滚磨方法，其特征在于，包括以下步骤：夹持晶棒；测量晶棒在其轴向方向上的不同位置的直径，以获取多个测量直径；将多个所述测量直径分别与目标直径进行对比，以获取晶棒在其轴向方向上的至少一个待滚磨区域的位置信息，其中，至少一个所述待滚磨区域的测量直径大于目标直径；对晶棒的至少一个待滚磨区域进行滚磨。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安欣芯材料科技有限公司 晶棒滚磨方法和晶棒滚磨装置
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