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摘要：本发明涉及芯片转移设备技术领域，公开了晶圆刺晶共导轨刚柔复合运动刺晶设备，包括龙门架以及安装在所述龙门架上水平布置的导轨组件和晶圆机构和刺晶头组件，其中刺晶头组件包括刺晶基座、第一音圈电机、对称柔性铰链、第一级柔性平台、第二音圈电机、单边对称柔性铰链、第二级柔性平台；所述晶圆旋转台机构包括Y轴基台以及滑动安装在所述Y轴基台底部的晶圆组件，所述晶圆组件包括晶圆基座和旋转台。本发明解决了MiniMicroLED巨量转移时刚性平台晶圆定位效率低，及柔性二维平台与惯量过大的旋转平台叠加产生弯曲变形问题，采用刚柔复合运动技术，显著提高刺晶效率，同时整体设备安装容易，减少导轨组件成本低，实现绿色制造。

主权项：1.晶圆刺晶共导轨刚柔复合运动刺晶设备，包括龙门架以及安装在所述龙门架上水平布置的导轨组件和晶圆旋转台机构、竖直布置的Z轴基台和刺晶头组件；所述刺晶头组件和所述晶圆旋转台机构沿导轨组件的长度方向运动，调节刺晶头和晶圆的X轴方向位置；所述Z轴基台与所述导轨组件之间设置刺晶头组件的高度调节机构，调节刺晶头的Z轴方向位置；所述晶圆旋转台机构与所述导轨组件之间设置Y轴直线驱动机构，调节晶圆的Y轴方向位置；其特征在于：所述刺晶头组件包括刺晶基座、第一音圈电机、对称柔性铰链、第一级柔性平台、第二音圈电机、单边对称柔性铰链、第二级柔性平台，其中，第一音圈电机固定在所述刺晶基座的内部一侧，所述对称柔性铰链位于所述第一音圈电机的一侧，且所述第一音圈电机的输出端与所述对称柔性铰链的其中一个柔性铰链中部固定安装，所述对称柔性铰链通过第一级柔性平台与单边对称柔性铰链连接，单边对称柔性铰链通过第二级柔性平台与第二音圈电机连接，刺晶头安装在第二级柔性平台的底部，将晶圆上的芯片转移到晶圆底部的芯片基板上；所述晶圆旋转台机构包括Y轴基台以及滑动安装在所述Y轴基台底部的晶圆组件，所述晶圆组件包括晶圆基座、转动安装在晶圆基座顶部的旋转台，晶圆位于所述旋转台的内部，所述旋转台内壁和晶圆之间设置外框架和内框架，且外框架与所述旋转台的内壁固定连接，所述内框架的外端面两侧均通过外柔性单元与所述外框架连接，所述内框架的内端面两侧均通过内柔性单元与所述晶圆连接，所述外柔性单元和所述内柔性单元两两交错排布于所述晶圆的四周；所述晶圆旋转台机构还包括固定在所述外框架内壁上并联驱动的第一驱动装置和第二驱动装置，其中第一驱动装置的驱动端与所述内框架固定连接，用于驱动所述晶圆纵向运动，所述第二驱动装置的驱动端与所述晶圆固定连接使其横向运动。

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