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摘要：本实用新型提供了一种固晶机的晶圆托盘夹具，属于固晶机设备技术领域，包括安装座，所述安装座的上端面中心处开设有安装槽，所述安装槽内设有承载盒，所述承载盒内设有托盘体，所述安装槽的底部安装有下安装片，所述下安装片上转动连接有压框，所述压框上设有可调节压紧结构，所述压框的上侧下端面固定连接有连接片，所述下安装片的右侧固定连接有衔接片，所述衔接片上固定连接有限位块，所述安装槽的顶部安装有上安装片。本实用新型通过设置的承载盒、压框、可调节压紧结构、限位块和扣压杆，实现了快速对晶圆托盘进行夹持固定，还能够夹持多种规格的晶圆托盘，操作便捷提高安装效率，解决了现有技术中操作难度较大导致安装效率低下的问题。
主权项：1.一种固晶机的晶圆托盘夹具，包括安装座1，其特征在于，所述安装座1的上端面中心处开设有安装槽2，所述安装槽2内设有承载盒3，所述承载盒3内设有托盘体4，所述安装槽2的底部安装有下安装片5，所述下安装片5上转动连接有压框6，所述压框6上设有可调节压紧结构7，所述压框6的上侧下端面固定连接有连接片8，所述下安装片5的右侧固定连接有衔接片9，所述衔接片9上固定连接有限位块10，所述安装槽2的顶部安装有上安装片11，所述上安装片11上对称且固定连接有两个转动座12，两个所述转动座12之间转动连接有扣压杆13，所述安装座1上对称开设有两个凹槽14，两个所述凹槽14内均设有便拿结构15。
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