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摘要：一种用于微电子测量装置传感元件的载体模块包括一个基板和一个由玻璃陶瓷材料一体成型的薄悬臂，悬臂的一端自由悬挂在基板的孔上方，另一端通过悬臂材料中的玻璃与基板材料熔合而固定至基板。制造载体模块的方法是在基板的孔中填充可改变聚集状态或过渡到粉末状态的固体材料，并加热基板，使悬臂形成由玻璃陶瓷材料组成的一体元件，并使孔中的固体材料过渡到不同的聚集状态或粉末状态。本发明简化了制造过程，提高了可靠性，并拓宽了模块的工作模式。
主权项：1.一种用于微电子测量装置传感元件的载体模块，其特征在于，包含基板和由玻璃陶瓷材料制成的单个元件形成的薄悬臂，一端设计用于容纳传感元件，自由悬挂在基板的孔上方，另一端通过悬臂材料中的玻璃与基板材料熔合而固定至基板。
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百度查询： 艾斯组件有限责任公司 微电子测量装置传感元件的载体模块
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