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摘要：本发明涉及一种稀土靶材及其制备方法，提供了一种能在空气中具有长寿命稳定性的稀土铈靶材，其采用高纯金属铈原料，利用水冷坩埚悬浮熔炼法将其熔炼成金属熔液；之后进行下拉铸锭，得到金属铈铸锭，对得到的金属铈铸锭进行轧制以及裁剪加工并进行热处理；热处理冷却后再对铈靶材进行氢等离子处理，通过在靶材表面进行特定的氢等离子体处理，得到了铈含量≥99.99wt％，致密度＞98％，氧含量＜500ppm的高质量铈靶材，有效提高了铈靶材的抗氧化性，且并未引入其他杂质成分，其靶材无需预处理可直接用于溅射镀膜，使用方便且可大规模产业化生产，成本较低，具有良好的抗氧化性和储存稳定性，可实现大规模产业化生产。
主权项：1.一种稀土靶材的制备方法，所述稀土为铈，其特征在于，包括如下步骤：（1）称取一定质量的高纯金属铈；（2）采用水冷坩埚悬浮熔炼方法将称取的金属铈熔炼成铈熔液；（3）对所述铈熔液进行下拉铸锭，得到金属铈铸锭，对得到的金属铈铸锭进行轧制以及裁剪加工；（4）对裁剪加工后的金属铈铸锭进行热处理；（5）对热处理冷却后的铈靶材进行氢等离子处理。
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百度查询： 内蒙古科学技术研究院 一种稀土靶材及其制备方法
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