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摘要：本发明提供一种单晶硅太阳电池加工方法，提供一半导体加工设备，叠放若干单晶硅太阳电池片送入所述半导体加工设备；多次刻蚀所述单晶硅太阳电池片的边缘，得到刻蚀后的单晶硅太阳电池片，使所述刻蚀后的所述单晶硅太阳电池片的边缘结构圆滑、无绕镀层和结构损伤层，所述刻蚀为干法刻蚀；钝化所述刻蚀后的所述单晶硅太阳电池片的边缘，在所述刻蚀后的所述单晶硅太阳电池片的边缘形成钝化膜。能够改善单晶硅太阳电池片边缘漏电、碎片率高、易隐裂的问题，提高单晶硅太阳电池的转换效率和柔韧性，制备高效率柔性单晶硅太阳电池。
主权项：1.一种单晶硅太阳电池加工方法，用以加工单晶硅太阳电池，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供一半导体加工设备，叠放若干单晶硅太阳电池片送入所述半导体加工设备；步骤S2、多次刻蚀所述单晶硅太阳电池片的边缘，使刻蚀后的所述单晶硅太阳电池片的边缘结构圆滑、无绕镀层和结构损伤层；步骤S3、钝化刻蚀后的所述单晶硅太阳电池片的边缘，在刻蚀后的所述单晶硅太阳电池片的边缘形成钝化膜；步骤S4、自所述半导体加工设备取出完成加工的所述单晶硅太阳电池片。
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百度查询： 六智韬新能源科技(上海)有限公司 一种单晶硅太阳电池加工方法
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