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摘要：公开了一种使用带电粒子束装置对样品进行成像的系统和方法。装置可以包括带电粒子源，被配置成发射带电粒子；孔径板，被配置成沿初级光轴从所发射的带电粒子形成初级带电粒子束；多个初级带电粒子束偏转器，被配置成使要被入射在样品表面上的初级带电粒子束偏转，以限定视场FOV的中心；以及控制器，包括电路装置，该电路装置被配置成将第一激发信号施加到多个初级带电粒子束偏转器中的初级带电粒子束偏转器以使初级带电粒子束扫描样品的FOV的一部分，以及施加第二激发信号以使初级带电粒子束偏转器补偿FOV的一部分中的初级带电粒子束的离轴像差。
主权项：1.一种带电粒子束装置，包括：带电粒子源，被配置成发射带电粒子；孔径板，被配置成沿初级光轴从所发射的所述带电粒子形成初级带电粒子束；多个初级带电粒子束偏转器，被配置成使要被入射在样品表面上的所述初级带电粒子束偏转，以限定视场FOV的中心；以及控制器，包括电路装置，所述控制器被配置成：将第一激发信号施加到所述多个初级带电粒子束偏转器中的初级带电粒子束偏转器，以使所述初级带电粒子束扫描所述样品的所述FOV的一部分；以及施加第二激发信号，以使所述初级带电粒子束偏转器补偿所述样品的所述FOV的所述一部分中的所述初级带电粒子束的离轴像差。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 具有大视场的带电粒子束装置及其方法
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