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摘要：本发明公开了一种全谱采集辉光放电光谱仪，包括电源模块、水冷系统、真空系统、压样系统、光学系统、气路系统以及主控板和多个采集板，整体分为上下两层，外壳由喷白漆的钣金件制作；真空系统、压样系统、光学系统、水冷系统位于上层；电源模块、气路系统、主控板以及采集板位于下层；电源模块外层包裹有屏蔽箱，实现强电与弱点的隔离，下层外壳上留有机械泵接口和气路接口。可用于对金属样品进行激发，逐层分析样品元素的含量组成，在实现光谱全谱采集分析的同时根据算法给出“溅射深度——各元素含量”的图表。
主权项：1.一种全谱采集辉光放电光谱仪，其特征在于，包括电源模块、水冷系统、真空系统、压样系统、光学系统、气路系统以及主控板和多个采集板，整体分为上下两层，外壳由喷白漆的钣金件制作；所述真空系统、压样系统、光学系统、水冷系统位于上层；所述电源模块、气路系统、主控板以及采集板位于下层；所述电源模块外层包裹有屏蔽箱，实现强电与弱电的隔离，下层外壳上留有机械泵接口和气路接口。
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百度查询： 北方工业大学 一种全谱采集辉光放电光谱仪
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