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摘要:本申请提供一种用于键合设备的压板结构及键合设备。压板结构包括压板和压接结构。压板设有通孔。压接结构至少包括第一压针组件和第二压针组件。第一压针组件包括第一固定部及与其相连的至少两个第一压针。第一固定部与压板相连。第一压针包括远离第一固定部的第一压接部。第一压接部伸入通孔。第二压针组件包括第二固定部及与其相连的至少两个第二压针。第二固定部位于第一固定部背离压板的一侧,且与压板相连。第二压针包括远离第二固定部的第二压接部,第二压接部伸入通孔。第一压接部与第二压接部的端面位于同一平面。相邻两个第一压针之间设有至少一个第二压针。第一压接部与第一固定部之间的距离小于第二压接部与第一固定部之间的距离。
主权项:1.一种用于键合设备的压板结构,其特征在于,所述压板结构包括:压板,设有用于暴露待键合结构的通孔;压接结构,至少包括第一压针组件和第二压针组件;所述第一压针组件包括第一固定部及与第一固定部相连的至少两个第一压针;所述第一固定部与所述压板相连;所述第一压针包括远离所述第一固定部的第一压接部,所述第一压接部伸入所述通孔;所述第二压针组件包括第二固定部及与第二固定部相连的至少两个第二压针;所述第二固定部位于所述第一固定部背离所述压板的一侧,且与所述压板相连;所述第二压针包括远离所述第二固定部的第二压接部,所述第二压接部伸入所述通孔;所述第一压接部的端面与所述第二压接部的端面均用于与所述待键合结构抵接,且位于同一平面;所述至少两个第一压针与所述至少两个第二压针的排布方向相同,且相邻两个所述第一压针之间设有至少一个所述第二压针;在与所述压板朝向所述第一固定部的表面平行的方向上,所述第一压接部与所述第一固定部之间的距离小于所述第二压接部与所述第一固定部之间的距离。
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百度查询: 华润润安科技(重庆)有限公司 华润微电子控股有限公司 用于键合设备的压板结构及键合设备
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