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摘要：本公开涉及具有改进的振动抑制的微机电陀螺仪。一种微机电陀螺仪包括形成衬底的半导体材料的管芯以及悬置在衬底上方的检测结构。检测结构在水平平面中具有主延伸部，相对于中心对称轴对称，并且针对每个陀螺仪检测轴被提供有：第一对检测质量块，被布置在中心对称轴的第一侧；以及第二对检测质量块，被布置在中心对称轴的第二侧，该第二侧在所述水平平面中与所述第一侧相对。每对中的检测质量块根据差分检测方案被电容性耦合至相应的定子电极。定子电极相对于彼此对称地布置在所述中心对称轴的相对侧。

主权项：1.一种三轴微机电陀螺仪，包括：半导体材料的管芯，所述管芯包括衬底；检测结构，被悬置在所述衬底上方；其中所述检测结构在水平平面中具有主延伸部、并且相对于第一水平轴和第二水平轴对称，其中所述第一水平轴和所述第二水平轴限定所述水平平面；其中所述检测结构包括：第一滚转检测质量块和第二滚转检测质量块，相对于所述第一水平轴对称地布置在相对侧；第一对驱动质量块和第二对驱动质量块，其中所述第一对驱动质量块被布置在所述第一滚转检测质量块的横向侧和外侧，并且所述第二对驱动质量块被布置在所述第二滚转检测质量块的横向侧和外侧，所述第一对驱动质量块和所述第二对驱动质量块在所述水平平面中、相对于所述第二水平轴对称；第一对俯仰检测质量块和第二对俯仰检测质量块，其中所述第一对俯仰检测质量块被布置在所述第一滚转检测质量块的横向侧和外侧，并且所述第二对俯仰检测质量块被布置在所述第二滚转检测质量块的横向侧和外侧，所述第一对俯仰检测质量块和所述第二对俯仰检测质量块在所述水平平面中、相对于所述第二水平轴对称；其中每个俯仰检测质量块通过相应的驱动弹性耦合元件耦合至相应的驱动质量块；第一对偏航检测元件和第二对偏航检测元件，被分别耦合至所述第一对俯仰检测质量块和所述第二对俯仰检测质量块；其中所述驱动质量块被配置为被驱动以沿着所述第二水平轴、针对每对驱动质量块以相对方向执行平移移动，所述驱动质量块相对于所述第一水平轴彼此对称的移动也在相对方向上；其中所述驱动质量块的移动被设计为引起所述第一滚转检测质量块和所述第二滚转检测质量块在所述水平平面中的反相旋转，并且引起由所述驱动质量块拉动的沿着所述俯仰检测质量块的所述第二水平轴在相对方向上的对应平移移动；并且其中，在所述驱动移动中，所述偏航检测元件与相应的所述俯仰检测质量块刚性耦合。

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